ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА

ПРЕДИСЛОВИЕ

Разработка новых технологических процессов, обеспечиваю- щих техническое перевооружение основных отраслей производст- ва,_тесно связана с вакуумной техникой.

Новые типы полупроводниковых структур, особо чистые мате- риалы, сплавы,`специальные покрытия изготавливаются в ваку- уме. Вакуум является идеально чистой технологической средой, в которой можно осуществить электрохимические и электрофизи- ческие процессы при изготовлении изделий микроэлектроники.