НАНОТЕХНОЛОГИИ  от нанофантастики к нанореализму

Предисловие

Технология микроэлектронных устройств (МЭУ) является основой произ— водства современных радиоэлектронных средств Уровень развития радиоэлект- роники определяется достижениями в области технологии У.

Методы микроэлектронной технологии широко используются в процессах изготовления изделий приборостроения, вычислительных машин, элементов и

устройств автоматики и др. Многие производства нерадио’электронногопрофиля” также применяют методы микроэлектроннойтехнологии.

Современная технология МЭУ базируется на новейших достижениях в об— ластях физики, химии, математики материаловедения, автоматизации и управления